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在等离子区强电场作用下,氮和氢的正离子以高速向工件表面轰击。离子的高动能转变为热能,加热工件表面至所需温度。由于离子的轰击,工件表面产生原子溅射,因而得到净化;同时由于吸附和扩散作用,氮遂渗入工件表面,形成渗氮层。
与气体渗氮相比,具有渗氮速度快、渗氮层组织易于控制、脆性小、无环境污染、节约电能、变形小等优点。